Der Nanoklettverschluss als Verbindungselement in der Nanopositionier- und Nanomesstechnik

Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin

Tagungsband: MikroSystemTechnik

Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Hoffmann, Martin; Wystup, Clemens (Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau)

Inhalt:
Nano-Nadeln erlauben die effiziente Fixierung von AFM-Nadeln auf einem Wechsel-Plug. Der Nano-Klettverschluss verhindert dabei eine Verschiebung der AFM-Spitze auf dem Wechselkopf während der Montage. Durch gezielte Modifikation der Oberflächeneigenschaften können die Nanokapillaren im Si-Gras benetzbar für polymere Kleber gemacht werden, um den Klettverschluss zu fixieren und eine Partikelemission sicher zu unterbinden.