Planare hochdynamische Direktantriebe für den Sub-µm-Bereich mit großen Verfahrwegen
Konferenz: Internationaler ETG-Kongress 2009 - Fachtagung 3: Direktantriebe in Produktionsmaschinen und Industrieanlagen - Generatoren und Antriebe in regenerativen Kraftwerken / Fachtagung 4: Diagnostik elektrischer Betriebsmittel
27.10.2009 - 28.10.2009 in Düsseldorf, Germany
Tagungsband: Internationaler ETG-Kongress 2009
Seiten: 5Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Zeike, Norbert; Schäffel, Christoph; Spiller, Frank (Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH, 98693 Ilmenau, Thüringen)
Inhalt:
An der IMMS gGmbH wurden Planarantriebe entwickelt, die auf Grund ihrer Kinematik mit nur einem einzigen bewegten Element und dem konsequenten Verzicht auf mechanische Führungen eine außerordentliche Präzision und Dynamik erreichen und über drei Freiheitsgrade verfügen (x, y und φ z). Dadurch können in der Laserpräzisionsbearbeitung, der Waferbearbeitung, der Messtechnik und der Qualitätssicherung neue Wege beschritten werden. Der Aufbau und die Details der einzelnen Problemlösungen sowie die technischen Daten werden im folgenden Beitrag beschrieben.