"Glas Gras" in Kieselglas für neue Integrationsmöglichkeiten in MEMS, MOEMS und BIOMEMS
Konferenz: Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany
Tagungsband: Mikro-Nano-Integration
Seiten: 5Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Lilienthal, Katharina; Fischer, Michael; Schober, Andreas (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien, Zentrum für Innovationskompetenz MacroNano, Gustav-Kirchhoff-Straße 7, 98693 Ilmenau, Germany)
Stubenrauch, Mike (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien, Fachgebiet Mikromechanische Systeme, Gustav-Kirchhoff-Straße 7, 98693 Ilmenau, Germany)
Inhalt:
Selbstorganisationsprozesse in Niederdruckplasmen erzeugen unerwünschte Oberflächenrauheiten und stochastische Nanostrukturen. Die Nutzung und Kontrolle solcher Effekte für etablierte Technologieabläufe von MEMS, MOEMS und BioMEMS eröffnet neue Möglichkeiten der Systemintegration. Die Erzeugung selbstmaskierender Nanodots in Verbindung mit subtraktiven Verfahren führen zu homogenen, nadelförmigen Strukturen in Silizium, sogenanntes "Black Silicon", und werden bereits in katalytischen, mikrooptischen, sowie mechanischen Mikro- und Nanosystemen eingesetzt. In diesem Beitrag werden geometrisch ähnliche Strukturen aus Kieselglas vorgestellt, die eine Übertragung von "Black Silicon"-Anwendungen auf dieses wichtige Basismaterial der Mikrotechnik erlauben. Nach einer eingehenden Parameterstudie können nun die morphologischen Eigenschaften gezielt eingestellt und zusätzlich eine noch größere geometrische Bandbreite im Vergleich zu Silizium erreicht werden.