Nanostrukturierte Systemfenster aus porösem Silizium für MIR
Konferenz: Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany
Tagungsband: Mikro-Nano-Integration
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Frank, Th.; Will, M.; Long, L. (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Konrad-Zuse-Straße 14, 99099 Erfurt, Deutschland)
Inhalt:
Der Ansatzpunkt einer Vielzahl von optischen Sensoren ist die Infrarotstrahlung (IR). Die Gegenstände der Messungen sind materialspezifische optische Parameter, z.B. die Absorption optischer Banden oder die Brechzahl, welche die Basis zur Ermittlung der Messgröße bilden. Das Silizium ist hierfür ein idealer Funktionswerkstoff, besonders in Hinblick auf die Funktionenintegration von Emitter, Detektor, Filter und Packaging. Poröses Silizium wird als Werkstoff für Interferenzfilter verwendet.