Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik
Konferenz: Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany
Tagungsband: Mikro-Nano-Integration
Seiten: 6Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Quednau, S.; Greiner, F.; Schlaak, H. F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen)
Rauber, M.; Neumann, R. (GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung GmbH, Abteilung Materialforschung)
Rauber, M.; Ensinger, W. (Technische Universität Darmstadt, Fachgebiet Materialanalytik)
Inhalt:
Nanodrähte sind durch ihr großes Oberflächen/Volumen-Verhältnis von hier etwa 1,6·107 m2/m3 ein interessantes Untersuchungsobjekt zur Minimierung der Ansprechzeit von Mikrogasflusssensoren. Diese Arbeit beschreibt die Modellierung von Nanodrahtarrays in Gasflüssen. Sie geht auf Temperatursprünge von 1 K bei Gasflüssen < 1 m/s ein. Die Simulationsergebnisse legen nahe, dass bei Nanodrahtarrays Zeitkonstanten von < 10-3 s und bei einzelnen Nanodrähten um mehr als drei Größenordnungen kleinere Zeitkonstanten möglich sind. Weiterhin beschreibt diese Arbeit einen Prozessablauf zur Integration von Nanodrahtarrays in ein Mikrosystem zur Gasflussanalyse. Die Bündelung von drei Nanodrahtarrays ist experimentell realisiert und vereinfacht die Handhabung bei der Montage. Sie ermöglicht eine beidseitige Kontaktierung der Nanodrahtarrays mit einer planaren Mikrostruktur.