Fabrication of 3D nanostructures by direct laser writing
Konferenz: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
10.05.2010 - 11.05.2010 in Darmstadt, Germany
Tagungsband: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik
Seiten: 2Sprache: EnglischTyp: PDF
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Autoren:
Radke, A.; Wolff, F.; Klotzbücher, T. (Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH, 55129 Mainz, Germany)
Radke, A.; Giessen, H. (Universität Stuttgart, 4. Physikalisches Institut, 70550 Stuttgart, Germany)
Inhalt:
Direct laser writing via two-photon absorption was used to fabricate three-dimensional structures with sub-µm resolution. As a proof of concept, woodpile photonic crystals were fabricated that show a characteristic dip in transmission at near-infrared wavelengths in correspondence to S-matrix calculations.