Herstellung und Replikation von großformatigen Formeinsätzen mit Mikrodüsenarrays durch Galvanoformung von geprägten Kunststoffbauteilen mit hohem Aspektverhältnis

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Zur Herstellung von Mikrobauteilen und mikrostrukturierten Bauteilen aus Kunststoff werden Präge- oder Spritzgießwerkzeuge aus Metall verwendet. Für viele Strukturen ist die Herstellung nur durch mikromechanische Verfahren möglich. Allerdings ist beispielsweise die Herstellung von großen Strukturfeldern durch Mikrofräsen unwirtschaftlich und beinhaltet stets das Risiko von Werkzeugbruch, der zu einer Beschädigung der gefrästen Struktur führen kann. In diversen Arbeiten am Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) am Karlsruher Institut für Technologie (KIT) wurden daher Formeinsätze für Strukturen mit Mikrodüsen durch die Galvanoformung von heißgeprägten Kunststoffbauteilen hergestellt. Die technische Herausforderung besteht hierbei zum einem im spaltfreien Fixieren der Bauteile auf einer Substratplatte und zum anderem im gesteuerten Überwachsen der Strukturen mit hohem Aspektverhältnis durch eine angepasste Metallisierung.