Charakterisierung eines neuen mikrostrukturierten Substrats für gassensitive, nanokristalline Metalloxide

Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Kühn, Karsten; Schütze, Andreas (Lehrstuhl für Messtechnik, 66123 Saarbrücken, Deutschland)
Kannan, Srinivasan; Rieth, Loren; Solzbacher, Florian (ECE Department, Salt Lake City, UT-84112, USA)
Bütefisch, Sebastian (PTB, 38116 Braunschweig, Deutschland)

Inhalt:
Im Fokus dieser Arbeit steht die elektrische/thermische Charakterisierung sowie die gasmesstechnische Untersuchung eines neuartigen, auf halbleitenden Dünnschichten basierenden, mikrostrukturierten Gassensorsubstrats zur Detektion typischer Verbrennungsabgase (CO, NOx, CH, NH3). Als gassensitive Dünnschichten wurden sowohl n-leitendes Indiumoxid (In2O3) als auch p-leitendes Nickeloxid (NiO) untersucht.