Kalibrierung thermischer Strömungssensoren mit monolithisch integrierten Kanälen durch Prozessparameter

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Ein zeitaufwendiger und kostenintensiver Bestandteil der Sensorfertigung, insbesondere bei der Herstellung von Strömungssensoren, ist die Kalibrierung jedes einzelnen Sensors. Dies ist aufgrund von Toleranzen bei der Fertigung und Montage notwendig. Mit Hilfe eines analytischen Modells, basierend auf Prozessparameter welche während der Herstellung gemessen werden wird gezeigt, dass es möglich ist die Durchflussrate thermischer Strömungssensoren mit monolithisch integrierten Kanälen mit einer Abweichung von ± 5 % zu kalibrieren. Eine kostenintensive Kalibrierung der einzelnen Sensoren wird dadurch umgangen. Dies ist möglich, da die Geometrie der monolithisch integrierten Kanäle im Gegensatz zur Geometrie hybrid aufgebauter Kanäle (z. B. durch Spritzgussverfahren) sehr exakt erfasst werden kann. Durch das Beheben technischer Probleme kann die Genauigkeit zudem noch erhöht werden.