AlN-basierte mikroelektromechanische Strukturen für Implantate

Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Heidrich, Nicola; Knöbber, Fabian; Pletschen, Wilfried; Sah, Ram Ekwal; Cimalla, Volker; Lebedev, Vadim; Ambacher, Oliver (Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik, Tullastraße 72, 79108 Freiburg, Deutschland)
Knöbber, Fabian; Ambacher, Oliver (Institut für Mikrosystemtechnik, Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 106, 79110 Freiburg, Deutschland)
Hampl, Stefan (IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, 98684 Ilmenau, Deutschland)

Inhalt:
Es wird gezeigt, dass biokompatible AlN-Dünnschichten eine stabile Piezoantwort aufweisen, wodurch sie sich gut für die Anwendung in implantierbaren Mikrogeneratoren eignen. Ein Vergleich zwischen zwei verschiedenen Systemtypen verdeutlicht, dass resonante (zugverspannte) Systeme wie z. B. Biegebalken und planare Membranen zwar mehr Leistung generieren, resonante (druckverspannte) Systeme jedoch für diese Anwendung vorzuziehen sind. Diese generieren genügend Leistung durch niederfrequente, nicht-periodische Vibrationen bei niedrigen Beschleunigungen. Um resonante Systeme für niederfrequente Anwendungen ebenfalls einsetzen zu können, werden die Biegebalken mit einer seismischen Masse versehen, wodurch die Resonanzfrequenz sinkt und Bewegungsenergie gespeichert wird.