Flexibles taktiles Sensorarray für Robotik- und Prothetikanwendungen
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Häfner, Joachim; Mokwa, Wilfried (Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik 1, RWTH Aachen University, Deutschland)
Görtz, Michael (Fraunhofer Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS, Duisburg, Deutschland)
Inhalt:
Taktile Sensoren, welche die Auflösung der menschlichen Haut erreichen und wie diese auch andere physikalische Größen wie z. B. Temperatur messen können, sind für die Anwendung in der Robotik und in der Prothetik von großem Interesse. In diesem Beitrag werden ein taktiles Sensorarray aus CMOS integrierten kapazitiven Drucksensoren vorgestellt und Dünnungsexperimente präsentiert, die zeigen, dass sich die verwendeten Drucksensoren ohne Beschädigung auf 55 µm dünnen lassen.