Stromdurchführung für den Hochdruckbereich zur Signalübertragung in der Prozessmesstechnik

Inhalt:
Eine neuartige Stromdurchführung für den Hochdruckbereich bis 5.000 bar wird konzipiert und anschließend mit mikrotechnischen Verfahren aufgebaut. Die Analyse der Schwachstellen von Stromdurchführungen nach dem Stand der Technik zeigt eine ungünstige Kraftverteilung bei mechanischer Belastung. Der optimierte Aufbau aus gestapelten Schichten nutzt die mechanische Belastung um die Fügestelle zu unterstützen. Der Grundkörper der neuartigen Stromdurchführung besteht aus einer Spezial-Metalllegierung (Kovar), der mit Glas als Isolator durch Anodisches Bonden gefügt wird. Die elektrischen Kontakte werden mit Hilfe von strukturierten Bereichen auf dem Glas galvanisch abgeschieden. Abschließende mechanische Tests zeigen eine mechanische Stabilität und Dichtigkeit bis mindestens 5.000 bar. Dabei erfüllt die neuartige Stromdurchführung alle geforderten elektrischen Eigenschaften.