Zylindrische Kupfer-Mikrospulen eingebettet in SU-8

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Die Miniaturisierung konventionell gewickelter Statorwicklungen von Elektromotoren ist aus teebnischen und wirtschaftlichen Gründen an ihre Grenzen gestoßen. Mit der Herstellung mikrosystemtechnisch erzeugter Spulen kann diese Miniaturisierung weiter voran getrieben werden. Hier wird ein Konzept vorgestellt, das 6 Spulen in zwei verschiedenen Ebenen verwendet. Jeweils drei Spulen werden in zwei Ebenen phasenverschoben angeordnet, um eine gute Feldverteilung über den gesamten Umfang des Motors zu erlangen. Als Material für die Spulen wird galvanisch abgeschiedenes Kupfer verwendet das in SU-8 eingebettet wird. Der Prozess endet mit einer thermoplastischen Umformung der Systeme um ihnen die geforderte zylindrische Form zu geben. Durch die Verwendung der hier vorgestellten Technologie konnten Elektromotoren mit einem Gehäusedurchmesser von 4 mm hergestellt werden.