Smarte adaptive-optische Mikrosysteme - Aufbautechnologie und thermomechanische Charakterisierung
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Burkhardt, T.; Bruchmann, C.; Kamm, A.; Hornaff, M.; Beckert, E.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A. (Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik, Albert-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Deutschland)
Burkhardt, T.; Bruchmann, C.; Tünnermann, A. (Institut für Angewandte Physik, Friedrich-Schiller-Universität, Albert-Einstein-Str. 15, 07745 Jena, Deutschland)
Gebhardt, S. (Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien u. Systeme, Winterbergstraße 28, 01277 Dresden, Deutschland)
Müller, J. (Fachgebiet Elektroniktechnologie, TU-Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Hoffmann, M. (Institut f. Mikro- und Nanotechnologie, TU-Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Inhalt:
Deformierbare Spiegel als adaptiv-optisches Element für den Einsatz bei hohen Laserleistungen erfordern neuartige Fertigungskonzepte. Insbesondere bei der Aufnahme dünner, keramischer Spiegelmembranen werden hohe Anforderungen an die Montage- und Fügetechnologie gestellt. Das laserbasierte Solderjet Bumping wird als stoffschlüssiges, flussmittelfreies Fügeverfahren für das Fassen LTCC-basierter Membranen vorgestellt. Durch Einzellotvolumina von 230 nl werden für AlSi70 bzw. W85Cu als Fassungsmaterial ultimative Scherkräfte zwischen 15,1 N und 24,0 N erzielt. Die piezoelektrisch aktivierte Auslenkung einer so gefassten Spiegelmembran mit 19 Aktoren beträgt bis zu 16 µm bei einer Resonanzfrequenz größer als 2,5 kHz und einer individuellen Auslenkung von Einzelaktoren zwischen 1,3 µm und 3,6 µm.