Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Ionescu, E.; Crespiera, S. Martinez; Riedel, R. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Materialwissenschaft, Fachgebiet Disperse Feststoffe, Petersenstraße 23, 64287 Darmstadt, Deutschland)
Schlosser, M.; Schlaak, H. F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Merckstraße 25, 64283 Darmstadt, Deutschland)
Inhalt:
In dieser Arbeit wurden keramische Mikrobauteile ausgehend von einem kommerziell erhältlichen Polysiloxan (RD 684, Fa. Starfire) hergestellt. Die Herstellung der keramischen Bauteile wurde mit photolithographischen und Soft-Lithographie-Methoden realisiert. Mittels Photolithographie-Techniken konnten keramische Mikrostrukturen mit einem Aspektverhältnis von bis zu 3:1 und Abmessungen kleiner als 20 µm hergestellt werden. Darüber hinaus konnte durch das Verfahren der Softlithographie die Herstellung von dichten, rissfreien SiOC-Mikrokomponenten mit komplexen Formen (wie beispielsweise Bauteile mit Kanälen unterschiedlicher Tiefe) gezeigt werden.