Untersuchungen zum Inkjet-Druck von SU-8
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Wegener, Thomas (GeSiM Gesellschaft für Silizium Mikrosystemtechnik mbH, Großerkmannsdorf, Deutschland)
Wegener, Michael (Fraunhofer Institut für Angewandte Polymerforschung (IAP), Potsdam, Deutschland)
Inhalt:
Verfahren zum strukturierten Prozessieren von Funktionsmaterialien finden auch in der Mikrosystemtechnik immer weitere Verbreitung, unterstützt durch die rasante Entwicklung von Drucktechniken. Als ein Beispiel wird hier die strukturierte Auftragung des Photoresists SU-8 mittels der Inkjet-Drucktechnik diskutiert und insbesondere das Einstellen der Spotgeometrien durch Anpassung möglicher Prozessparameter wie die Betriebsspannung der Inkjet-Pipetten sowie die Viskosität der SU-8 Tinte untersucht. Abschließend wird exemplarisch die Anwendung eines strukturierten SU-8-Auftrags in der Nanoimprintlithographie dargestellt.