Optisch gepulste Mikroplasmaquelle für die Integration von Nanotomographie in eine Nanomessmaschine

Inhalt:
In diesem Beitrag werden das Konzept und die ersten Entwicklungsschritte einer optisch gepulsten Mikroplasmaquelle vorgestellt. Diese Quelle soll in eine Nanomessmaschine integriert werden, um dort Nano-Tomographie zu ermöglichen. Es wird ein Pulslaser eingesetzt, der in einer Reaktorkammer bevorzugt fluorhaltige Prozessgase bei Atmosphärendruck ionisiert. Aus diesem Reaktor sollen reaktive Plasmaspezies zu einer Probe hin extrahiert werden. Es werden dazu Ergebnisse von Untersuchungen hinsichtlich der mechanischen Stabilität und optischen Transparenz der Reaktormembranen aus Aluminiumnitrid vorgestellt. Darüber hinaus wurden erste Elemente zum Test der Medienzufuhr hergestellt.