Mikrothermoformen und Mikroblasformen nanostrukturierter Polymerfilme - Replikationsverfahren zur Mikro-Nano-Integration

Inhalt:
Die Integration von Nanostrukturen in Mikrosysteme bietet eine Vielzahl von neuen Anwendungsmöglichkeiten in der Fluidik, Optik und im Bereich des Tissue Engineerings. Die Integration von Nanostrukturen kann zur Steuerung der Benetzbarkeit von Oberflächen in mikrofluidischen Kanälen genutzt werden. Diese Mikro-Nano-Integration stellt eine Herausforderung an die Fertigungsverfahren dar, insbesondere wenn nicht nur der Kanalboden, sondern auch die Seitenwände strukturiert werden sollen. Die am Institut für Mikrostrukturtechnik entwickelten Fertigungsverfahren, Heißprägen und Mikrothermoformen ermöglichen die Mikro-Nano-Integration in der Herstellung von Kunststoffbauteilen.