Breitbandige On-Wafer-Kalibriernormale in Membrantechnologie
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Rohland, Martina; Büttgenbach, Stephanus (Technische Universität Braunschweig, Institut für Mikrotechnik (IMT), Braunschweig, Deutschland)
Rohland, Martina; Arz, Uwe; Kuhlmann, Karsten (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Artikel wird eine einfache Erweiterung zu einem wohlbekannten analytischen Modell für auf konventionellen Substraten befindliche, koplanare Wellenleiter (CPW) präsentiert. Diese Erweiterung ermöglicht es, die elektrischen Eigenschaften von in Membrantechnologie gefertigten CPWs breitbandig zu bestimmen. Die Genauigkeit des erweiterten, analytischen CPW-Modells wird durch den Vergleich mit numerischen Simulationen (Microwave Studio, CST) und mit breitbandigen Messungen für Frequenzen bis zu 110 GHz verifiziert.