Mikroelektromechanischer Acoustic Emission Sensor mit inhärenter Störunterdrückung und Bandpass-Charakteristik
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Sorger, Alexander; Auerswald, Christian; Dienel, Marco; Shaporin, Alexey; Mehner, Jan (Professur für Mikrosystem- und Gerätetechnik, Technische Universität Chemnitz, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Beitrag wird ein mikroelektromechanischer Acoustic Emission (AE) Sensor mit kapazitivem Wandler vorgestellt. Der entwickelte Sensor besteht aus zwei mikromechanischen Feder-Masse-Dämpfer Systemen mit unterschiedlichen Resonanzfrequenzen. Durch eine gegenphasige Elektrodenkonfiguration der beiden Resonatoren wird eine Unterdrückung niederfrequenter Störschwingungen erreicht. Zudem wird die Empfindlichkeit des Sensors auf ein breiteres Frequenzband ausgedehnt. Dieser Beitrag stellt das zugrunde liegende Sensormodell sowie eine konkrete Realisierung in der BDRIE-Technologie vor. Weiterhin wird eine Möglichkeit zur Charakterisierung der AE-Sensoren im Frequenzbereich aufgezeigt und ihre Funktionsweise demonstriert.