System-Simulation eines MEMS-basierten piezoelektrischen Energy-Harvester Moduls
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Hohlfeld, Dennis (Reutlingen University, Deutschland)
Bechtold, Tamara; Rudnyi, Evgenii (CADFEM GmbH, Grafing b. München, Deutschland)
Schaijk, Rob van (IMEC / Holst Centre, Eindhoven, Die Niederlande)
Inhalt:
In dieser Arbeit stellen wir einen neuen Ansatz zum effizienten Entwurf von Mikrosystemen vor. Dieser basiert auf numerischen Methoden zur Ordnungsreduktion von MEMS-Modellen, die mehrere physikalische Domänen beinhalten. Die reduzierten MEMS-Modelle werden gemeinsam mit einer Schaltung gelöst. Als Anwendungsbeispiel dient uns ein MEMS-basiertes Modul mit piezoelektrischer Energiewandlung und passiven elektrischen Komponenten zur Energiespeicherung.