Kapazitiver MEMS-Mischer und Signalfilter für wake up receiver

Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Kurth, S.; Leidich, S.; Geßner, T. (Fraunhofer ENAS, Technologie-Campus 3, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Voigt, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Geßner, T. (Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien, 09107 Chemnitz, Deutschland)

Inhalt:
Ein MEMS-Bauteil zur Demodulation von HF-Signalen durch einen Empfänger mit einer sehr niedrigen Leistungsaufnahme wurde entwickelt und hier vorgestellt. Es eignet sich besonders für den Einsatz in Wake-up-Receivern. Das Bauteil besteht aus einem Resonator und zwei Elektrodenpaaren, wobei ein Elektrodenpaar zur mechanischen Anregung der Schwingung und Demodulation des HF-Signals, das andere zur Detektion genutzt wird. Entspricht die Modulationsfrequenz der Resonanzfrequenz des Bauteils, entsteht aufgrund der Bewegung ein Umladestrom, der verstärkt als Aktivierungssignal dient.