Vertikal ausgerichtete Kohlenstoffnanoröhren-Teppiche als Basismaterial in Dehnungsmessstreifen
Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland
Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Riekeberg, S.; Trieu, H. K.; Müller, J. (Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Hamburg, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Beitrag werden vertikal ausgerichtete und strukturierte Kohlenstoffnanoröhren (CNT)-Teppiche als Basismaterial in Dehnungsmessstreifen (DMS) vorgestellt. Der Ladungstransport erfolgt dabei entlang des CNTTeppichs. Der CNT-basierte DMS zeigt eine lineare Widerstandsabhängigkeit im Temperaturbereich von 20 °C bis 100 °C. Durch eine Optimierung der CNT-Prozessparameter weisen diese DMS hohe k-Faktoren von bis zu 10 bei gleichzeitig niedrigen Temperaturabhängigkeiten des elektrischen Widerstands auf.