Elektrostatische und fluidische Selbstassemblierung für die hochgenaue Mikro-Montage von MEMS
Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland
Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Mouselimis, Konstantinos; Gan, Yifei; Huhn, Andreas; Wilde, Jürgen (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK), Professur für Aufbau- und Verbindungstechnik, Georges-Köhler-Allee 103-01-105, 79110 Freiburg, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Beitrag werden das Selbstassemblierungsverfahren und sein Prozessablauf dargestellt, die Herstellung der Kapazitätsstrukturen mit Hilfe eines Dünnschicht-Prozesses beschrieben und erste Anwendungsbeispiele an einer Versuchsanlage mit deren Einflussgrößen gezeigt.