Opto-mechanische Mikrosysteme zur hyperspektralen Bildgebung
Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland
Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Grewe, A.; Hillenbrand, M.; Sinzinger, S. (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano®), FG Technische Optik, POB 100565, 98684 Ilmenau, Deutschland)
Endrödy, C.; Hoffmann, M. (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano®), FG Micro-mechanische Systeme, Ilmenau, Deutschland)
Fütterer, R.; Correns, M.; Linß, G. (Technische Universität Ilmenau, FG Qualitätssicherung und Industrielle Bildverarbeitung, Ilmenau, Deutschland)
Cu-Nguyen, P.-H.; Zappe, H.; Seifert, A. (University of Freiburg, Department of Microsystems Engineering – IMTEK, Deutschland)
Steiner, S.; Kley, E. B. (Institut für Angewandte Physik, Abbe-Center of Photonics, Friedrich-Schiller-Universität, Deutschland)
Inhalt:
Wir präsentieren neuartige Verfahren und Systeme für die spektrale Bildgebung. Der erste Ansatz basiert auf resonanten Spektralfiltern (resonant waveguide gratings). Zwei weitere Systeme verwenden einen konfokal hyperchromati-schen Ansatz zur spektralen Filterung. Das notwendige zeitliche Multiplexen wird durch verstimmbare Optiken realisiert. Dabei werden sowohl fluidische Mikrolinsen sowie diffraktive Alvarez-Lohmann-Linsen verwendet. Zu Erhöhung der räumlichen Auflösung eines solchen Systems kommen mikromechanische Stepperaktoren mit großen Stellwegen zum Einsatz.