Adaptive Mikrolinsen basierend auf Aluminiumnitrid Membranen

Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland

Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin (Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano® Fachgebiet Mikromechanische Systeme, Ilmenau, Deutschland)
Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan (Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano® Fachgebiet Technische Optik, Ilmenau, Deutschland)

Inhalt:
Verstimmbare Membranmikrolinsen bestehen aus einer Flüssigkeit, deren Grenzflächen durch eine Druckkammer und eine transparente Kreismembran definiert werden. Wird in der Druckkammer ein Überdruck erzeugt, weist die Membran eine kugelkappenförmige Deformation auf. Die Flüssigkeit zwischen Druckkammerwand und Kreismembran formt so eine Plankonvexlinse. In diesem Beitrag wird der Einsatz von Aluminiumnitrid als Membranmaterial untersucht. Dies zeichnet sich durch Langzeitstabilität und nahezu perfekte Auslenkungsprofile aus. Die mechanischen und optischen Untersuchungen werden an 500 nm dicken Membranen mit einem Durchmesser von 3 mm durchgeführt. Dabei können Membranauslenkungen von bis zu 64 µm und Brechkräfte von 0 bis 25 dpt für einen Arbeitsdruck von 20 kPa ermittelt werden.