7mm-MEMS-Spiegel für einen omnidirektionalen Laserscanner
Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland
Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Hofmann, Ulrich; Senger, Frank; Stenchly, Vanessa; Hagge, Jürgen; Mallas, Christian; Wantoch, Thomas von; Janes, Joachim; Benecke, Wolfgang (Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie ISIT, Itzehoe, Deutschland)
Inhalt:
Um zu ermöglichen, dass Fahrerassistenzsysteme zur Vermeidung von Unfällen mit Fußgängern, Fahrradfahrern und anderen Verkehrsteilnehmern nicht nur in Premium-Pkw-Segmente, sondern in Pkw und Lkw aller Fahrzeugklassen integriert werden können, bedarf es der Entwicklung preisgünstiger kompakter Sensorik-Systeme, die die unmittelbare Umgebung des Fahrzeugs möglichst hochaufgelöst und vollständig erfassen. Dieser Artikel beschreibt die Entwicklung eines zweiachsigen mikromechanischen elektrostatisch angetriebenen Resonanz-Spiegel-Scanners, welcher im Rahmen des EU-Projektes MiniFaros entwickelt wurde, um in Kombination mit einer omnidirektionalen Linse einen kompakten Laser-Abstandssensor mit einem Scanwinkel von theoretisch bis zu 360 Grad zu ermöglichen. Der im Rahmen des Projektes entwickelte MEMS-Scanner hat einen Durchmesser von 7mm und wird auf Wafer-Ebene vakuum-gekapselt. Eine Dreibeinaufhängung ermöglicht zwei orthogonale Scanachsen von identischer Resonanzfrequenz zur Erzeugung einer zirkularen Scantrajektorie mit einer Repetitionsrate von bis zu 1500 Scans pro Sekunde.