Mikrokraftsensor als Transfernormal für die Kalibrierung von Antastkräften
Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland
Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Bütefisch, S.; Weimann, T.; Danzebrink, H.-U.; Flügge, J. (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig, Deutschland)
Solzbacher, F. (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Utah, Salt Lake City, USA)
Inhalt:
Dieser Beitrag beschreibt das Design und die Herstellung eines Mikrokraftsensors für einen Kraftbereich von einigen 100 myN bis zu 100 mN. Die zugrunde liegende Doppelbiegebalkenkonfiguration sorgt dafür, das die Position des Antastpunktes in gewissen Bereichen idealerweise keinen Einfluss auf die gemessene Kraft hat. Diese Eigenschaft prädestiniert den Sensor für die Messung von Antastkräften in taktilen dimensionellen Messgeräten wie Tastschnittgeräten und Koordinatenmessmaschinen.