Resonanter berührungsloser Mikrotastkopf in Silicium-Mikromechanik
Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland
Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin (IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau, Deutschland)
Inhalt:
Wir präsentieren einen resonanten zweiachsigen Mikrotastkopf, welcher elektrostatische Sensoren und Aktoren, einen Stylus mit Antastelement und eine Federführung in einem SOI-Substrat vereint. Bestandteile dieses Papers sind die Untersuchung des Kontaktverhaltens und der Nachweis, dass Sticking durch eine resonante Antastung sicher vermieden wird. Während der Messungen oszilliert der Taster in zwei Richtungen mit Frequenzen im unteren Kilohertzbereich und mit Schwingungsamplituden bis 5 µm.