LTCC Membranen mit integrierter Heizern, Temperatur- und Deh-nungssensorik
Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland
Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Gutzeit, N.; Fischer, M.; Müller, J. (TU Ilmenau, IMN, FG Elektroniktechnologie, Gustav-Kirchhoff-Straße 7, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Appelfelder, M.; Reinlein, C. (Fraunhofer IOF, 07745 Jena, Deutschland)
Inhalt:
Im diesem Artikel wird die Herstellung einer 220 µm dünnen, mehrlagigen Membran aus LTCC (DuPont 951) mit integrierten Temperatursensoren, Heizern und über Dünnschicht-Prozesse aufgebrachter Dehnungssensorik beschrieben. Diese Membran (Durchmesser: 52 mm) stellt die Basis für einen deformierbaren Spiegel dar, welcher für die Wellenfrontkorrektur von Hochleistungs-Lasern eingesetzt werden soll. Der Spiegel kann für optimierte Laser-Materialbearbeitung genutzt werden.