Mikrotropfenerzeuger Hergestellt mit Rapid Manufacturing Verfahren

Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland

Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Kagerer, Markus; Eiler, Kenji L.; Ottnad, Thomas; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C. (Lehrstuhl für Mikrotechnik und Medizingerätetechnik, TU München, Garching, Deutschland)

Inhalt:
Vorliegende Arbeit beschreibt einen piezoelektrisch betriebenen Membrantropfenerzeuger, welcher sowohl mit Rapid Manufacturing Verfahren hergestellt wird als auch hiermit individuell dimensioniert werden kann. Dieser besteht aus einer Siliziumgrundplatte, welche die fluidmechanischen Komponenten wie bspw. Düse, Fluidkammer oder auch Drossel enthält, einer 100 µm dicken Borosilikatglasmembran und einen piezoelektrischen Wandler mit Oberflächenelektroden. Seine Herstellungszeit beträgt je nach Dimensionierung weniger als zwei Stunden. Um die Mikrotropfenerzeuger sowohl fluidisch als auch elektrisch zu kontaktieren, wird eine Schnellspannvorrichtung mit integriertem Fluidreservoir und Heizwicklungen bereitgestellt. Seine Inbetriebnahme ist hiermit in weniger als einer Minute möglich. Zur Validierung des Dosiersystems werden sowohl Isopropanol als Flüssigkeit als auch geschmolzenes handelsübliches Kerzenwachs als Medium mit Phasenübergang erfolgreich dosiert.