Miniaturisierte optische Integrationsplattform für III-N basierte opto-chemische Detektoren

Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland

Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Kleindienst, R.; Grewe, A. (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano®), FG Technische Optik, POB 100565, 98684 Ilmenau, Deutschland)
Cimalla, V.; Holc, K.; Schätzle, J. (Fraunhofer Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF, Freiburg, Deutschland)
Eickhoff, M.; Schörmann, J.; Teubert, J. (Justus-Liebig-Universität Gießen, I. Physikalisches Institut, Gießen, Deutschland)
Schwarz, U. (Fraunhofer Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF, Freiburg)
Sinzinger, S. (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Institut für Optoelektronik, Freiburg, Deutschland)

Inhalt:
In diesem Beitrag stellen wir die Mikro-Nano-Integration eines opto-chemischen Sensors zur Detektion oxidierender und reduzierender Gase basierend auf III-N-Nanodrahtheterostrukturen vor. Der Optikdesignansatz zur effizienten Formung der Anregungsstrahlung wird ebenso wie die hochpräzise Fertigung der miniaturisierten Integrationsplattform erläutert. Nach Charakterisierung des optischen Mikrosystems, werden die elektro-optischen Komponenten und die Nanodrahtheterostrukturen integriert, um den Sensors hinsichtlich seiner Gasdetektionseigenschaften zu untersuchen.