Der Einfluss verschiedener Randeinspannungen auf die Verformung oberflachenmikrostrukturierter piezoelektrischer :Mikromembranantriebe

Inhalt:
Im Folgenden wird ein piezoelektrischer Mikromembranaktor beschrieben, der auf Grund seines Aufbaus mit strukturierten Oberflächenelektroden, auf eine passive Stellmembran verzichten kann. Nutzt man interdigitale Oberflächenelektroden zur Ansteuerung wird im Piezomaterial ein stark inhomogenes elektrisches Feld generiert und somit auch entsprechende inhomogen verteilte mechanische Spannungen. Dies hat zwingend eine Verformung des Materials zur Folge. Es wird gezeigt, wie mit einer spezifisch gewählten Elektrodenanordnung und einer angepassten Einspannung die Verformung der Membran beeinflusst werden kann. Es konnte durch die gewahlte Randeinspannung die dauerhafte Verformung infolge der Polarisierung kompensiert werden. In dieser Form Iieße sich der· Membranaktor sehr einfach in ein normal-geschlossenes Mikroventil integrieren.