Mikropumpe mit elektrostatischem Direktantrieb
Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland
Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
Persönliche VDE-Mitglieder erhalten auf diesen Artikel 10% Rabatt
Autoren:
Dittrich, L.; Endrödy, C.; Hoffmann, M. (Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Inhalt:
Der Beitrag stellt das Aktorprinzip einer neuartigen Mikropumpe vor. Zunächst wird ein Algorithmus zur Dimensionierung pumpender Mikrostrukturen beschrieben und diskutiert. Aufbauend auf der Theorie und der daraus resultierenden Dimensionierung der Mikrostrukturen wird ein Technologiekonzept zur Herstellung der Mikropumpe abgeleitet. Ein Benetzungsexperiment verifiziert den Entwurfsalgorithmus. Die elektrostatische Auslenkung der virtuellen Membranen in die Kavitäten der pumpenden Mikrostrukturen hinein wurde mittels Immersionsmikroskopie nachgewiesen.