Sensitivitätsoptimierung von vertikalen Hallsensoren mit drei Kontakten

Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland

Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Sander, C.; Paul, O. (Lehrstuhl für Materialien der Mikrosystemtechnik, Institut für Mikrosystemtechnik IMTEK, 79110 Freiburg, Deutschland)
Cornils, M.; Vecchi, M. C. (Micronas GmbH, Hans-Bunte-Str. 19, 79108 Freiburg, Deutschland)

Inhalt:
In dieser Arbeit wird der Einfluss der Kontaktgeometrien auf die Magnetfeldempfindlichkeit von vertikalen Hallsensoren mit drei Kontakten (3CVHS) untersucht. Durch die konforme Abbildung von konventionellen planaren Hallsensoren auf die komplexe Halbebene wird gezeigt, dass die physikalische Grenze der spannungsbezogenen Sensitivität SV = 0.74 myH mit Hilfe von zwei 3CVHS theoretisch erreicht werden kann. Darüber hinaus wurden 3CVHS mit unterschiedlichen Kontaktgeometrien gefertigt und deren gemessene Sensitivität mit einem Modell auf der Basis finiter Elemente (FE) verglichen. Dadurch konnte die spannungsbezogene Sensitivität von 5.4 mV/VT um 165 % auf 14.3 mV/VT optimiert werden.