Thermisch robuste und hysteresearme Tunnelmagnetowiderstands-Sensoren für Längen- und Winkelmessungen

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Wir zeigen hier Messergebnisse von TMR-Sensoren, die zur Längen- und Winkelmessung eingesetzt werden können. Durch einen neuartigen Ansatz zur Linearisierung des Ausgangssignals mit Hilfe von sogenannten magnetischen Vortex-Strukturen können extrem kleine Hysteresen erzielt werden. Die Empfindlichkeit (Signalveränderung pro Magnetfeldintervall) lässt sich dabei noch in einem großen Bereich anwendungsspezifisch einstellen. In Stresstests unter Temperaturen bis 180 °C und starken Magnetfeldern haben sich diese TMR-Sensoren als magnetisch sehr stabil erwiesen.