Erhöhung des Integrationsgrades von Membranaktorik in LOCs mithilfe von Lasertechnologie

Inhalt:
In diesem Paper wird eine Methode beschrieben, um den Grad der Integration eines - bereits für viele Anwendungen erprobten - Verfahrens zum integrierten Pumpen von Flüssigkeiten in Labs-on-a-Chip (LOCs) zu erhöhen. Ziel ist es, die Funktionalität von Kartuschen mit diesem Aktorsystem um bspw. Heizbereiche zu erweitern. Da verschiedene Schichten der Aktoren (Membran, Adhäsionsfolie) keine Hitzeresistenz über 50 °C aufweisen, sollen Kartuschen fortan nicht mehr vollflächig, sondern selektiv mit Pumpen unterlegt werden. Dafür wurde ein Prozess entwickelt, der es erlaubt, über ein Laserdurchstrahlschweißverfahren (LDS) On-Chip Aktorbereiche und andere Funktionsbereiche räumlich getrennt zu integrieren. Es werden Designelemente und eine LDS-Methode vorgestellt, um unter anderem die Verschweißung von inkompatiblen Materialschichtstapeln zu erreichen.