Kapazitiver low cost Drucksensor mit medienbeständiger Wandlermembran auf Leiterplattenbasis

Inhalt:
In diesem Beitrag wird ein Drucksensor mit medienbeständiger Wandlermembran vorgestellt. Die Sensoren erfassen kapazitiv die Auslenkung einer durch den anliegenden Druck ausgelenkten Membran. Die Herstellung des Sensors kann mit Standard-SMD Prozessen erfolgen, da er lediglich aus einer lötfähigen Wandlermembran, einer Leiterplatte und Elektronikkomponenten besteht. Der Messbereich kann durch die Auslegung der Membran angepasst werden. Erste Aufbauten für einen Messbereich bis 10 Bar erreichen eine Auflösung von < 0,05 % FS und eine Wiederholgenauigkeit von < 0,5 % FS. Dabei können unterschiedliche Elektroniken zum Einsatz kommen. Auf diese Weise können sehr günstige oder hochauflösende Sensoren realisiert werden.