Fertigung von Mikrotaststiften und kugelförmigen Mikrokavitäten mittels Mikrofunkenerosion

Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland

Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Ferreira, N. (Technische Universität Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Alte Salzdahlumer Straße 203, 38124 Braunschweig, Deutschland )
Metz, D.; Richter, C.; Dietzel, A.; Büttgenbach, S. (Technische Universität Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Alte Salzdahlumer Straße 203, 38124 Braunschweig, Deutschland)
Krah, T.; Härtig, F. (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Deutschland)

Inhalt:
Monolithische Mikrotaststifte werden mittels Drahterosion (Wire Electrical Discharge Grinding oder WEDG) aus einer Hartmetall-Elektrode komplett herauserodiert. Sie setzen sich aus einer Kugel und einem Schaft zusammen, sodass keine aufwendige Montage erforderlich ist. Mittels dieses Fertigungsprozesses werden Mikrotaststifte mit einem Tastkugeldurchmesser von 300 bis 50 µm kosteneffektiv und mit Formabweichungen kleiner als 2 µm hergestellt. Die gefertigten Taststifte können in der taktilen Koordinatenmesstechnik oder als Werkzeug-Elektrode für weitere Erosionsvorgänge verwendet werden. Darüber hinaus wird vorgestellt, wie Kavitäten mit den erodierten Mikrotaststiften mittels eines Senkerosionsverfahrens (Die Sinking Erosion) hergestellt werden. Die erodierten kugelförmigen Kavitäten haben einen Durchmesser von 300 bis 50 µm mit einer Formabweichung von 1 bis 2 µm. Die gefertigten Mikrokavitäten können als Komponente in einer Spritzgussform verwendet werden.