Zufalls-Phasenschiebe-Interferometer zur Messung sphärischer Oberflächen

Konferenz: Sensoren und Messsysteme 2014 - Beiträge der 17. ITG/GMA-Fachtagung
03.06.2014 - 04.06.2014 in Nürnberg, Deutschland

Tagungsband: ITG-Fb. 250: Sensoren und Messsysteme 2014

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Broistedt, H.; Tutsch, R. (TU Braunschweig, Inst. für Produktionsmesstechnik, Schleinitzstr. 20, 38106 Braunschweig, Deutschland)

Inhalt:
Der Artikel präsentiert einen neuen Ansatz für ein kostengünstiges und vibrationstolerantes Zufalls-Phasenschiebe-Interferometer zur Messung sphärischer Oberflächen. Zunächst wird der auf einem Fizeau-Interferometer basierende Aufbau vorgestellt und näher erläutert. Er beinhaltet neben dem üblichen örtlich hoch auflösenden Sensor eines Interferometers, einen zusätzlichen zeitlich hochauflösenden Sensor zur Messung der relativen Phasenverschiebungen zwischen Referenz- und Messfläche, welche auf Grund von Vibrationen währen einer Messung auftreten können. Die Funktionsweise des zeitlich hochauflösenden Sensors wird näher erläutert und es werden Simulationsergebnisse vorgestellt, die der Validierung des Auswertealgorithmusses dienen. In der Simulation wurde die sphärische Messfläche zufällig über mehrere Wellenlängen in x- und z-phasenverschoben und unter Anwendung eines speziell entwickelten Zufalls-Phasenschiebe-Algorithmusses ausgewertet.