Entwicklung und Optimierung mikrotechnischer Silicium- und Keramikkomponenten zur Realisierung eines Fluidiksensors

Konferenz: Sensoren und Messsysteme 2014 - Beiträge der 17. ITG/GMA-Fachtagung
03.06.2014 - 04.06.2014 in Nürnberg, Deutschland

Tagungsband: ITG-Fb. 250: Sensoren und Messsysteme 2014

Seiten: 6Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Müller, Lutz; Günschmann, Sabine; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hoffmann, Martin (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien, MacroNano®, Deutschland)
Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang (Siegert TFT GmbH, Deutschland)
Magi, André (Micro-Hybrid Electronic GmbH, Deutschland)
Pignanelli, Eliseo; Schütze, Andreas (Zentrum für Mechatronik und Automatisierungstechnik gGmbH, Deutschland)

Inhalt:
Dieser Beitrag beschäftigt sich mit der Optimierung der Einzelkomponenten eines IR-Messsystems, bestehend aus IR-Strahlungsquelle, Messküvette und Thermopile-Detektor. Die Vermeidung von Interferenzen im Strahlungsspektrum des membranbasierten IR-Emitters sowie dessen Emissivitätssteigerung durch den Einsatz von Nanostrukturen wird dargestellt. Eine siliciumbasierte Küvette, deren Grenzflächen mittels Mikrostrukturen entspiegelt wurden, bildet die hochdruckfeste Messzelle des Sensorsystems. Auf Seiten des Detektors, welcher als 4-kanaliger Thermopilechip ausgeführt ist, wird die Verbesserung der Detektivität und die Verringerung der Übersprechverhaltens ausführlich erläutert.