Nadelstrukturen durch elektrochemisches HF-Ätzen von n-Silizium

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Der Beitrag diskutiert Herstellung und optische Eigenschaften von porösem Silizium. Mittels elektrochemischem Ätzen mit Flusssäure wurde poröses Silizium auf einem 525 µm dicken n-Silizium Wafer mit einem von uns entwickelten Ätzaufbau hergestellt. Aufgrund der hohen angelegten Spannungen beim Ätzvorgang weist das hergestellte makroporöse Silizium auf der Oberfläche kreuzförmige Porenöffnungen auf, die in kleinerer Ausprägung als Spiking bekannt sind. Weiterhin konnten auf den Seitenwänden der Poren Branching-Effekte festgestellt werden. Des Weiteren konnten in n-Silizium ohne vorherige Prozessschritte Nadelstrukturen hergestellt und der dazugehörige Bildungsmechanismus erklärt werden. Mit dem erzeugten porösem Silizium und den Nadelstrukturen konnte in ersten Messungen die Unterdrückung von Interferenzeffekten bei Durchstrahlen mit Infrarotlicht aufgezeigt werden, so dass sich eine einfache Möglichkeit zur Verbesserung der Abstrahlcharakteristik mikromechanischer IR-Strahler ergibt.