Kalibrierbarer Mikrokraftsensor zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten

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Die mechanische Charakterisierung dünner Schichten ist für viele Anwendungen wichtig. Wesentlich ist, dass wichtige Eigenschaften, wie Härte und Bruchfestigkeit nicht zerstörungsfrei bestimmt werden können. Insbesondere bei, durch chemische oder physikalische Gasphasenabscheidung hergestellten, Schichten variiert die Zusammensetzung und kristalline Struktur und somit die Härte. Die Härte und die Festigkeit ist für mechanische Anwendungen aber eine, insbesondere in Bezug auf die Zuverlässigkeit, herausragende Eigenschaft. Der Beitrag stellt siliziumbasierte piezoresistive Mikrokraftsensoren zur mechanischen Charakterisierung von dünnen Schichten und Mikrobauteilen dar.