Funktionale Integration bei Magnetoresistiven Sensoren

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Zurzeit gibt es einen dramatischen Anstieg in der Anzahl Anwendungen für magnetischen Sensoren [1]. Dieser Trend wird ermöglicht durch eine stetige Verbesserung des Preis-Leistungs-Verhältnisses für diese Sensoren [2]. Dies liegt teilweise an verbesserten Leistungseigenschaften, aber auch an der Integration von zusätzlichen Funktionen. In diesem Beitrag werden zwei aktuelle Beispiele für magnetoresistive Sensoren beschrieben. Der Integration einer hartmagnetischen Schicht im Sensorchip selbst ersetzt einen externen Magneten, entweder als Stabilisierungsmagnet oder auch zur Arbeitspunkteinstellung. In einem weiteren Beispiel wird die Auslegung und Herstellung von integrierten flussführenden weichmagnetischen Strukturen beschrieben. Anhand dieser Strukturen können drei magnetische Feldkomponenten von einem einzigen Sensorchip statt von drei separaten Chips erfasst werden. Beide Beispiele von Mikro-Nano-Integration reduzieren die Anzahl benötigter Komponenten in einer Sensoranordnung, was zu reduziertem Bauvolumen und geringeren Kosten beim Anwender führt.