Technologie- und Testplanung für heterogene 3D-Systeme
Konferenz: ANALOG 2014 – Analogschaltungen im Systemkontext - Beiträge der 14. GMM/ITG-Fachtagung
17.09.2014 - 19.09.2014 in Hannover, Deutschland
Tagungsband: ANALOG 2014 – Analogschaltungen im Systemkontext
Seiten: 5Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Grünewald, Armin; Hahn, Kai; Wahl, Michael; Brück, Rainer (Lehrstuhl für Mikrosystementwurf, Universität Siegen, Siegen, Deutschland)
Inhalt:
Für die Entwicklung von 3D-Systemen gibt es noch eine Vielzahl offener Fragen bezüglich der Wahl geeigneter Technologien. Zusätzlich hat die Bedeutung von Test sehr stark zugenommen, da viele neue Testmomente involviert sind. Die Abhängigkeiten zwischen den Bereichen Herstellung, Test und auch Design werden in diesem Paper näher analysiert. Im Anschluss wird ein Entwurfswerkzeug vorgestellt, das den System-/Prozessentwickler darin unterstützt, einen geeigneten und fertigbaren Prozess- und Testflow zu finden. Um dies zu erreichen, wird eine Prozessmodellierung für die Herstellung der Dies und Zwischenkontaktierungen, eine Testflow-Entwicklung und eine Kostenberechnung durchgeführt.