Integration eines neuartigen kohlenstoffbasierten Materials – Carbon NanoPillars – in Dehnungsmessstreifen

Inhalt:
In diesem Beitrag wird eine uns bisher unbekannte Formierung des Kohlenstoffs – Carbon Nanopillars (CNPs) – vorgestellt. Diese werden auf ihre Eignung als Basismaterial in Dehnungsmessstreifen (DMS) untersucht. Das Wachstum der CNPs findet dabei vertikal ausgerichtet auf dem Trägersubstrat statt. Durch eine Strukturierung des CNP-Teppichs und Kontaktierung dieser mit links und rechts angrenzenden Leiterbahnen erfolgt der Ladungstransport entlang des CNPTeppichs, orthogonal zur CNP-Wachstumsrichtung. Der CNP-Teppich zeigt eine lineare IU-Charakteristik, sowie eine lineare Widerstandsanhängigkeit in einem Temperaturbereich von 20 °C bis 90 °C. Durch eine Optimierung der CNPProzessleistung weisen diese DMS hohe k-Faktoren von bis zu 15,5 auf.