Hochauflösende Magnetfeld-Positionssensoren
Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Paul, Johannes (Sensitec GmbH, Mainz, Deutschland)
Knoll, Heiko; Lenkl, Andreas (Märzhäuser Sensotech, Wetzlar, Deutschland)
Tide, Ralf (Märzhäuser Wetzlar, Wetzlar, Deutschland)
Theis, Martin; Saumer, Monika; Vetter, Christian (Hochschule Kaiserslautern, Zweibrücken, Deutschland)
Piorra, Andre; Meyners, Dirk (Technische Fakultät, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Deutschland)
Lofink, Fabian; Fichtner, Simon; Wagner, Bernhard (Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie, Itzehoe, Deutschland)
Zoschke, Kai (Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM, Berlin, Deutschland)
Inhalt:
Magnetische Maßstäbe in Verbindung mit Magnetfeldsensoren sind Stand der Technik in der Positionssensorik. In dem Verbundprojekt AQUILA wird diese Technologie weiterentwickelt mit dem Ziel, eine höhere Auflösung zu erreichen. Diese soll unter 100 nm liegen. Um dieses Ziel zu erreichen, werden neue Konzepte für Maßstäbe und die passenden dazugehörigen magnetoresistive Sensoren erforscht. Die Energieautarkie des Sensorsystems soll durch einen neuartigen Multi-Energy-Harvester sichergestellt werden. Die neuen Komponenten werden im Rahmen des Projektes an Demonstratoren in zwei industriellen Anwendungen getestet, einmal in der Positionierung von Mikroskoptischen sowie in Präzisionswerkzeugen mit verstellbaren Durchmesser.