Entwurf und Test von Acoustic Emission Sensoren basierend auf dem MEMS-Bandpass-Prinzip
Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Freitag, M.; Auerswald, C.; Wolf, P.; Sorger, A.; Dienel, M.; Shaporin, A.; Mehner, J. (Technische Universität Chemnitz, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Beitrag wird die Weiterentwicklung des mikroelektromechanischen Acoustic Emission (MEMS AE) Sensors auf Basis des Bandpassprinzips vorgestellt. Durch die Erweiterung auf vier Resonatoren konnte die Übertragungsfunktion des Sensors bezüglich Sensitivität und Bandbreite besser an den Frequenzbereich des hochfrequenten Messsignals angepasst werden. Neben dem Design des vier-Resonator-MEMS, wird der Aufbau eines Gesamtsystems mit Analog-Elektronik vorgestellt und durch einen praktischen Versuch auf einer Faserkunststoffverbund-Platte getestet.