Vor-Ort-Erzeugung von Mikro- und Nanodrähten auf geraden und gekrümmten Oberflächen

Inhalt:
In dieser Arbeit wird ein Prozess vorgestellt, mit dem es möglich ist Mikro- bzw. Nanodrähte auf gekrümmten Oberflächen, speziell Innenwänden von elektrisch leitfähigen Rohren, herzustellen. Dafür wurde ein bestehender Prozess zur Herstellung von Mikrodrähten auf planaren Substraten weiterentwickelt und verbessert. Die mit Mikrodrähten versehenen Rohre können später in leistungsfähigen Siedekühlungen für elektronische Bauelemente eingesetzt werden. Zusätzlich wurde der Prozess für planare Substrate dahingehend weiter entwickelt, dass Nanodrähte auch mit sehr geringen Drahtdichten auf planaren Substraten erzeugt werden können, die später als Feldemitter eingesetzt werden können.