Numerische und experimentell verifizierte Berechnung fluidischer und thermoelastischer Dämpfung in MEMS
Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Freitag, M.; Sorger, A.; Voigt, S.; J. Mehner (Technische Universität Chemnitz, Deutschland)
Inhalt:
Dieser Beitrag stellt numerische Untersuchungen zu fluidischer und thermoelastischer Dämpfung (TED) und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) vor. Die Grenzen der Verdünnungsmodellierung mit Hilfe der effektiven Viskosität für die fluidische Dämpfung wurden bestimmt. Weiterhinwurde die Anwendbarkeit der Modelle durch einen Vergleich von berechneten und experimentell ermittelten Dämpfungskonstanten für beide Dissipationsprozesse geprüft.